氮氣柜是需要外接氮氣氣源來工作的,使用氮氣來有效的降低智能氮氣柜箱體內(nèi)部的濕度值和氧含量值。常用于存放半導(dǎo)體晶圓片Wafer,太陽能電池片等,有效防止其親水性和親氧性的氧化現(xiàn)象。而氮氣柜使用的氣源包括氮氣氣瓶,氮氣管道或小型制氮機。三清儀器制氮機分為兩種型號,一種為需要接入壓縮空氣和電源來產(chǎn)生氮氣,而第二中則是直接接通電源即可產(chǎn)生氮氣,滿足氮氣柜的日常使用。三清儀器智能氮氣柜支持用戶各類非標(biāo)訂制,包括產(chǎn)品的尺寸,氮氣柜隔板的設(shè)計及各類非標(biāo)功能,如濕度超標(biāo)報警,選擇SUS304不銹鋼材質(zhì),預(yù)防箱門未關(guān)好報警,箱體內(nèi)部安裝感應(yīng)燈或加裝USB數(shù)據(jù)接口和485網(wǎng)絡(luò)通訊等功能。

三清儀器節(jié)約型氮氣柜的控氮主機采用金屬外殼(SUS304不銹鋼材質(zhì))制作,表面靜電噴塑。內(nèi)置進(jìn)口SMC電磁閥,性能穩(wěn)定可靠,不受外界干擾。采用自動程控感應(yīng)系統(tǒng),當(dāng)箱內(nèi)的濕度達(dá)到設(shè)定值時,系統(tǒng)會自動切斷氮氣供應(yīng);當(dāng)箱內(nèi)的濕度超過設(shè)定值時,系統(tǒng)會自動打開氮氣供應(yīng)來降低箱體內(nèi)的濕度和氧含量。多點均勻式供氣系統(tǒng),防止氣體過沖給存放的物料帶來破壞性的影響及確保箱體內(nèi)的氮氣均勻性,箱內(nèi)無氮氣死角,防止物料受潮氧化,更好的保護(hù)存放的物料。溫濕度雙區(qū)超高亮獨立顯示。濕度設(shè)定數(shù)值具有記憶功能,斷電后無需重新設(shè)定。溫濕度傳感器采用原裝進(jìn)口品牌HoneyWell,數(shù)據(jù)精準(zhǔn),靈敏,長時間使用數(shù)值偏移值小。溫度顯示范圍:-9℃ ~ 99℃,顯示精度:±1℃。濕度顯示范圍:1%RH ~ 99%RH,顯示精度:±3%RH。氮氣柜溫濕度管理記錄功能,實時監(jiān)控氮氣柜內(nèi)溫濕度變化,使用相關(guān)軟件后,可支持在電腦界面實時顯示溫濕度曲線圖及保存打印歷史記錄數(shù)據(jù)。氮氣柜符合J-STD-033B規(guī)范對濕敏元件(MSD)儲存的要求。

產(chǎn)品容積 內(nèi)徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數(shù)量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進(jìn)氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節(jié)氮模組 多點供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組

氮氣柜